近日，合肥欣奕華完成業(yè)內(nèi)首臺Micro LED接觸式線路斷路/短路（下稱“OS”）缺陷檢測設(shè)備量產(chǎn)并向業(yè)內(nèi)頭部企業(yè)交付。設(shè)備幫助客戶實現(xiàn)了Micro LED新型顯示面板生產(chǎn)良率的提升。

　　據(jù)介紹，合肥欣奕華此次量產(chǎn)交付的Micro LED OS檢測設(shè)備，通過接觸式檢測可以對驅(qū)動電路基板的線路缺陷進行快速定位，在對產(chǎn)品沒有損傷的前提下，可同時進行多達4000個點位測試，短路檢出率高達100%，斷路檢出率高達99.5%以上。

　　此外，該設(shè)備通過細微線路缺陷檢測技術(shù)，選用高精度微針、快速對位算法，以及適應(yīng)多品類產(chǎn)品的缺陷檢測工藝方法和規(guī)范化應(yīng)用技術(shù)，可實現(xiàn)6-22英寸產(chǎn)品的無極兼容測試，單片產(chǎn)品測試時間可在55s以內(nèi)完成。在需要切換產(chǎn)品種類時，該設(shè)備也可實現(xiàn)測試工藝的快速自動調(diào)整。

　　圖片來源：合肥欣奕華

　　據(jù)悉，合肥欣奕華成立于2013年，由北京欣奕華科技有限公司控股，主營業(yè)務(wù)包括泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)工業(yè)機器人、智慧工廠解決方案，以及高端制造裝備。公司可為客戶提供Mini/Micro LED等檢測設(shè)備，包括點燈AOI、外觀AOI、斷/短路檢測設(shè)備等。

　　Micro LED設(shè)備廠商動態(tài)接連不斷

　　近期，多家Micro LED設(shè)備制造商的動態(tài)引起了業(yè)界的關(guān)注。除了合肥欣奕華外，錼創(chuàng)、精測電子、大族半導(dǎo)體以及壹倍科技等企業(yè)在Micro LED設(shè)備領(lǐng)域也有了新的進展。

　　9月19日，精測電子 Micro LED CT AOI檢測設(shè)備順利出機正式交付某省級實驗室客戶。其自主研發(fā)的晶圓外觀檢測設(shè)備主要采用顯微光學(xué)方案針對晶圓的μm級外觀缺陷進行檢測及量測;同時可擴展到晶圓Bumping 3D量測及LED 3D量測應(yīng)用。

　　壹倍科技 于8月15日宣布，其自主研發(fā)與生產(chǎn)的Micro LED晶圓級AOI巨量檢測設(shè)備順利交付至Micro LED巨量轉(zhuǎn)移領(lǐng)域頭部客戶。該設(shè)備能夠在數(shù)分鐘內(nèi)檢測Micro LED COW或COC晶圓上數(shù)千萬顆芯粒的缺陷或位置量測，最小可檢出亞微米級的缺陷和偏移。

　　錼創(chuàng)和大族半導(dǎo)體則是首次展出Micro LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備。

　　錼創(chuàng) 在9月4-6日舉辦的SEMICON Taiwan半導(dǎo)體展中，首次公開展示Micro LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備。該設(shè)備重約十噸，可將六英寸晶圓上的RGB微型LED精準(zhǔn)轉(zhuǎn)移至不同尺寸的面板上，為Micro LED大尺寸應(yīng)用提供了可能。

　　錼創(chuàng)日前還表示，公司對今年Micro LED產(chǎn)業(yè)的發(fā)展持樂觀態(tài)度，預(yù)計通過增加銷售設(shè)備業(yè)務(wù)，轉(zhuǎn)移設(shè)備將貢獻約10%-20%的營收，并將擴大開發(fā)歐美市場。

　　大族半導(dǎo)體 于9月10-12日舉辦的CIOE中國光博會上，首次實體展出了全自動Micro LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備DM100-M0406B。該設(shè)備轉(zhuǎn)移良率可達99.99%以上，可實現(xiàn)最小尺寸5μm，間距5μm的芯片加工，具有自動CCD校正、自動上下料等多種功能。

　　上述進展表明，Micro LED設(shè)備制造商正在不斷推動技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用的擴展，相關(guān)設(shè)備已獲得客戶的認可與使用。這些進展對于Micro LED行業(yè)的長期發(fā)展是一個積極的信號，預(yù)示著該技術(shù)在未來可能會在更多領(lǐng)域得到應(yīng)用。